摩尔定律是指计算机芯片上的晶体管数量每隔2年左右会翻一番，并在过去数十年中成功验证。不过伴随着生产工艺要求的提升，越来越多的人质疑未来摩尔定律是否依然有效。麻省理工学院和科罗拉多大学的工程师近日成功研发出新的微加工技术，可用于生产有史以来最小的3D晶体管，尺寸是目前主流商用产品的三分之一。

　　几年前，芯片行业的标准是14nm生产工艺，是指每个晶体管的宽度。目前在商业领域，iPhoneXR、iPhone XS和iPhone XS Max上装备的A12 Bionic芯片就是7nm生产工艺，而且目前已经有生产厂商开始试验5nm生产工艺。而研究人员开发的一些新晶体管再次将其减半，根据测量创纪录的达到2.5纳米宽。

　　为了制造它们，该团队在新进开发的微加工工艺热原子层蚀刻(thermal ALE)基础上进行了改进。首先他们将称之为铟镓砷(indium gallium arsenide)的合金半导体材料暴露于氟化氢(hydrogen fluoride)上，用于在基板表面上形成薄薄的金属氟化物层。